Prob ucu onarım araçları öncelikle prob tipine ve pasifleştirme derecesine göre kategorize edilir. Bunlar fiziksel temizleme araçlarını, kimyasal temizleme ekipmanlarını, elektrokimyasal onarım cihazlarını ve özel teşhis cihazlarını içerir. Bu araçlar, kısmen pasifleştirilmiş probların performansını yeniden sağlamak veya bir probun değiştirilmesi gerekip gerekmediğini belirlemek için kullanılır.
I. Fiziksel Temizlik Araçları: Yüzey Kirlenmesine veya Hafif Oksidasyona Uygun
1. Ultra-İnce Aşındırıcı Aletler
Ultra-ince zımpara kağıdı (2000 kum veya üzeri): İletkenliği yeniden sağlamak amacıyla metal problar (Pogo pimleri veya multimetre test uçları gibi) üzerindeki yüzey oksit katmanını cilalamak için kullanılır.
Tüy bırakmayan-bez + İzopropil Alkol (IPA): Prob uçlarındaki lekeleri silmek için kullanılır; kullanımı basit ve yerinde-hızlı müdahaleye uygun.
Mikro-kontrollü Parlatıcı: Probların mikroskop altında kontrollü bir şekilde parlatılmasını sağlayarak aşırı aşınmayı önler.
Uygulanabilir Senaryolar: Endüstriyel test problarının ve devre onarım iğnelerinin rutin bakımı.
2. Hava Akışı ve Fırçalama Araçları
Azot Üfleme Tabancası: Prob uçlarına yapışan tozu temizleyerek ikincil kirlenmeyi önler.
Ultrasonik Temizleyici: Partikülleri ve organik kalıntıları etkili bir şekilde gidermek için bir temizleme solüsyonuyla birlikte kullanılır.
II. Kimyasal ve Elektrokimyasal Onarım Ekipmanı: Oksit Katmanlarının Hedefli Olarak Kaldırılması
1. Kimyasal Temizleme Çözümleri
Seyreltik Hidroklorik Asit veya Sitrik Asit Çözeltisi: Yüzey oksitlerini çözmek için metal probları (örn. tungsten, berilyum bakır) ıslatmak için kullanılır.
Özel Elektronik Prob Temizleme Sıvısı: Substrat malzemesine zarar vermeden oksit filmleri güvenli bir şekilde çıkarabilen, piyasada satılan ürünler (örn. DeoxIT D5).
Not: Konsol yapısını aşındırabileceğinden silikon-bazlı AFM probları için uygun değildir.
2. Elektrokimyasal Tamir Cihazları
Kontrollü-Akım Elektroliz Sistemi: Probun geometrik şeklini değiştirmeden voltajı ve elektrolit konsantrasyonunu ayarlayarak oksit katmanlarını kaldırır.
Mikro-elektrolitik Hücre: Lokalize temizliği mümkün kılmak amacıyla özel-ince çaplı problar için tasarlanmıştır.
Avantajları: Yüksek temizleme hassasiyeti ve minimum hasar; yüksek-değerli probların bakımı için uygundur.
III. Nano Ölçekli Problar için Özel İşleme Teknikleri (Evde Kullanım İçin Değil)
1. Plazma Temizleyici
Organik kirleticileri ayrıştırmak için oksijen plazmasını kullanır; AFM ve yarı iletken probların laboratuvar düzeyinde-temizlenmesinde yaygın olarak kullanılır.
Uç reaktivitesini etkili bir şekilde artırır ve yüzey iletkenliğini geri kazandırır.
2. Odaklanmış İyon Işını (FIB) Bileme
"Heykeller", keskin bir profili yeniden oluşturmak için-uçları atomik ölçekte köreltiyordu.
Yüksek{0}}maliyet gerektiren, özel senaryolarda kullanımı sınırlı, üst düzey bir araştırma tekniği.
Pratik Sınırlamalar: FIB ekipmanının çalıştırılması pahalı ve karmaşıktır; onarım çözümü olarak evrensel bir değere sahip değildir ve genellikle probu yenisiyle değiştirmekten daha az ekonomik ve güvenilirdir.
IV. Onarım Sonrası- Doğrulama Araçları: Performans Standartlarının Karşılanmasını Sağlama
1. Taramalı Elektron Mikroskobu (SEM)
Eğrilik yarıçapının düzeltilip düzeltilmediğini belirlemek için uç morfolojisini doğrudan gözlemler.
Uç körlüğünün değerlendirilmesinde laboratuvardaki en güvenilir yöntem olarak hizmet eder.
2. Beyaz Işık İnterferometresi / AFM Otomatik-Kalibrasyon
3 boyutlu yüzey rekonstrüksiyonu veya standart numunelerin görüntülenmesi yoluyla probun durumunu dolaylı olarak değerlendirir.
SEM'in bulunmadığı ortamlarda rutin doğrulama için uygundur.
3. Standart Numune Test Yöntemi
Karşılaştırmalı tarama için bilinen yapılara (örneğin, HOPG, kırınım ızgarası standartları) sahip örnekleri kullanır.
Ortaya çıkan görüntüler netse ve genişleme artifaktları içermiyorsa bu, probun normal şekilde performans gösterdiğini gösterir.
